INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 19)

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A
XTC/3 Gebrauchsanleitung
1.4.3 Prozessrezept Speicherung
1.4.3.1 Film Parameter
Vor/Nach Beschichtung
Leistungsrampen . . . . . . . . . . . . . . . 2 pro Film
Leistungsstärke . . . . . . . . . . . . . 0.0 bis 100%
Anstiegszeit . . . . . . . . . . . . . . . . 00:00 bis 99:59 min:s
Plateauzeit . . . . . . . . . . . . . . . . . 00:00 bis 99:59 min:s
Leerlauframpen . . . . . . . . . . . . . . . . 1 pro Film
Leerlaufleistung . . . . . . . . . . . . . 0.0 bis 100.0%
Leerlaufzeit . . . . . . . . . . . . . . . . . 00:00 bis 99:59 min:s
Beschichtung
Aufdampfrate . . . . . . . . . . . . . . . . . . 0.0 bis 999.9 Å/s (LCD zeigt drei Nummern)
Endgültige Schichtdicke . . . . . . . . . . 0.0 bis 999.9 kÅ
Schichtdickengrenze . . . . . . . . . . . . 0.0 bis 999.9 kÅ
Ratenrampe . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1 pro Film
Neue Rate . . . . . . . . . . . . . . . . . 0.0 bis 999.9 Å/s (LCD zeigt drei Nummern)
Anstiegszeit . . . . . . . . . . . . . . . . 00:00 bis 99:59 min:s
RateWatcher® . . . . . . . . . . . . . . . . . Ratenabtastung mit Halte-Funktion
RateWatch Genauigkeit . . . . . . . 1 bis 99%
RateWatch Zeitdauer . . . . . . . . . 00:00 bis 99:59 min:s
Sensor
Sensor # . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1 oder 2
Korrekturfaktor . . . . . . . . . . . . . . . . . 10.0 bis 500.0%
Zweiter Korrekturfaktor. . . . . . . . . . . 10.0 bis 500.0%
XTC/3M XTC/3S
Prozess Programme 99 1
Film Programme 32 9
Prozess Layer
(Prozess Schichten)
999
pro
Prozess
1