INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 152)

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XTC/3 Gebrauchsanleitung
xx . . . . . . Zahl mit ein oder zwei Nummercode per Liste unten:
S0 . . . . . Prozess Information. Alle Information von S1 bis S10, getrennt durch
Leerzeichen.
S1. . . . . . Rate (Å/s) aktuell gemessen. x.x bis xxx.x Å/s
S2. . . . . . Leistung (%) aktuell geliefert. x.x bis xxx.x %
S3. . . . . . Dicke (KÅ) aktuell akkumuliert. x.xxxx kÅ bis xxxx.xxxx kÅ
S4. . . . . . Aktuelle Phase im Prozess. x
S4 Antwort Code für Phase:
0 . . . . . . . Ready - Bereit
1 . . . . . . . Source switch -Tiegelwechsel
2 . . . . . . . Rise 1 - Anstiegzeit
3 . . . . . . . Soak 1
4 . . . . . . . .Rise 2 - Anstiegzeit
5 . . . . . . . Soak 2
6 . . . . . . . Shutter delay -Blendenverzögerung
7 . . . . . . . Deposit
8 . . . . . . . Rate ramp - Ratenrampe
9 . . . . . . . Manual - Manuell
10 . . . . . Time Leistung - Zeit Leistung
11 . . . . . . Idle ramp - Leerlauframpe
12 . . . . . . Idle phase - Leerlauf
S5. . . . . . Phasenzeit (mm:ss). xx:xx
S6. . . . . . Aktive Schicht x
S7. . . . . . Aktiver Film x
S8. . . . . . Aktiver Sensor x
S9. . . . . . Quarznutzung (%). x % bis xx %
S10. . . . . Leistung Quelle Nummer. x (1 oder 2)
S11 . . . . . Ausgangstatus - gibt eine Zeichenkette von 16 ASCII Bytes, 1 pro
Ausgang. Jedes Byte hat einen ASCII Wert von 0 oder 1, entsprechend
zum Ausgangstatus.
Antwort Format (Keine-Prüfsumme):
Byte1............Byte16<ACK> wobei Byte 1 Ausgang1 entspricht.