INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual Benutzerhandbuch
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XTC/3 Gebrauchsanleitung
PROCESS RUNNING - Prozess in Bearbeitung
Nachricht erscheint wenn versucht wird den Diagnostikmodus zu verwenden
während ein Prozess läuft
PROCESS VAR DEFAULT - Prozessvariablen Rücksetzung
Bedeutet dass Prozessvariablen im Gerät auf ihre Standardwerte rückgesetzt
wurden. Jegliche zuvor bestehenden Prozessvariablen wurden auf ihre
Standardwerte zurückgesetzt.
R LOCK - R Sperre
Bedeutet das Gerät wurde durch Kommunikation in den Parametersperre-
Zustand gesetzt. Verhindert dass jegliche Parameter über die Frontplatte
eingegeben werden können bis die Sperre über Kommunikation gelöscht wird.
RATE DEV ERR - Ratenabweichungfehler
Bedeutet das Gerät ging in Stop da Ratenregelung innerhalb 60 s nicht
erreicht wurde.
RATEWATCH DELAY - RW Verzögerung
Die RateWatcher Funktion ist aktiv. Der Sensor stabilisiert für 5 s bevor der
SAMPLE - Abtastenphase. Die Durchschnittsrate für die vorherige
Abtastperiode wird für die Schichtdicke integriert. Die Durchschnittsleistung
für die vorherige Abtastperiode wird konstant gehalten.
RATEWATCH HOLD - RW Halten
Die RateWatcher Funktion ist aktiv. Die Sensorblende ist geschlossen. Die
Durchschnittsrate für die vorherige Abtastperiode wird für die Schichtdicke
integriert. Die Durchschnittsleistung für die vorherige Abtastperiode wird
konstant gehalten.
RATEWATCH SAMPLE - RW Abtasten
Die RateWatcher Funktion ist aktiv. Die Sensorblende ist offen. Die Rate der
Quelle wird gemessen und die Leistung geregelt.
RS-232 FAILED - RS-232 Fehler
Bedeutet dass die Prüfung mit dem gelieferten Prüfstecker versagte. Bedeutet
ein Hardwarefehler besteht entweder im Gerät oder im Prüfstecker.
RS-232 PASSED - RS-232 Gut
Bedeutet dass die Prüfung mit dem gelieferten Prüfstecker erfolgreich war.
SHUTTER DELAY - Blendenverzögerung
Die Schicht ist in Stop da Ratenregelung innerhalb 60 s während in
Blendenverzögerung nicht erreicht wurde.
SOAK HOLD - Soak Halt
Die aktuelle Quelle suspendiert Bearbeitung und hält die aktuelle Leistung
konstant bis der Halt gelöscht wird.
START INHIBITED - Start Verhindert
Der Start Befehl wurde nicht bearbeitet da der "Start Inhibit" - Start Verhindern
Eingang aktiv ist.