4 durchführung eines prozess – INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual Benutzerhandbuch
Seite 57
3 - 13
IP
N 07
4-
44
6-
P1
G
XTC/3 Gebrauchsanleitung
3.4 Durchführung eines Prozess
Nachdem ein Prozess, wie in Kapitel 4 beschrieben, definiert wurde, kann dieser
ausgeführt werden.
START, einmal betätigt, startet oder setzt den Prozess fort vom Punkt ab dem
er angehalten wurde.
STOP "friert" einen Prozess ein. Statusinformationen auf der Anzeige werden
beibehalten und der Ausgang für die Regelspannung wird auf Null gesetzt..
RESET, wenn betätigt wenn das Gerät in Stop ist, bringt den Prozess zurück
zum ersten Layer.
HINWEIS: Es kann von Vorteil sein, einen neuen Prozess zuerst im Prüfmodus
(TEST) auszuführen, (aktiviert in der Prozess Wahlfläche in der
General Parameter Anzeige, siehe
Abschnitt 4.4.1 auf Seite 4-19
bevor ein echter Aufdampfvorgang durchgeführt wird. Es ist dann
möglich, die richtige Funktion der Blenden, der Prozessabfolge und die
Grenzwerte zu überprüfen.
Die Prozessdurchführung wird im folgenden Statusdiagramm dargestellt.
Abbildung 3-12 Symbole Verwendet in dem Diagramm
Erläuterungen zur Abb.3.13
READY = Bereitschaft
RESET = Rücksetzen
RESET LAYER TO START # = Rücksetzen der Schicht
auf die Startnummer
END LAYER = Schichtende
IDLE = Leerlauf
EXECUTE A LAYER UNTIL = Schicht aufdampfen bis ...
Siehe Abbildungen 3.13A und 3.13B
CLOSE SHUTTERS Leistung ---> 0
FREEZE DISPLAY = Blenden schließen,
Leistung --> 0 Anzeige einfrieren
Solide Linien zeigen die automatische Reihenfolge der Schritte.
Gepunktete Linien zeigen Schritte an die der Anwender wählen kann.