5 quarzgreifer (“snatcher”) (ipn 007-035), 6 crystalsix, 7 crystal12 – INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual Benutzerhandbuch
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IP
N 07
4-
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6-
P5
A
XTC/3 Gebrauchsanleitung
6.4.5 Quarzgreifer (“Snatcher”) (IPN 007-035)
Zur Verwendung des mit dem Sensor gelieferten Quarzgreifers, wie nachstehend
beschrieben vorgehen:
1
Den Quarzgreifer in den Keramikhalter (1) einsetzen und etwas Druck
ausüben. Dadurch wird der Halter mit dem Greifer verriegelt, so dass dann der
Halter gerade abgezogen werden kann (2).
2
Nach Austausch des Quarzes den Keramikhalter in die Halterung wieder
einsetzen.
3
Den Quarzgreifer durch eine geringe seitliche Bewegung entriegeln.
Abbildung 6-6 Crystal Snatcher - Quarzgreifer
6.4.6 CrystalSix
Siehe CrystalSix Gebrauchsanleitung (IPN 074-155 auf CD IPN 074-5000-G1) für
spezielle Anweisung für diesen Sensor.
6.4.7 Crystal12
Siehe Crystal12 Gebrauchsanleitung (IPN 074-398 auf CD IPN 074-5000-G1) für
spezielle Anweisung für diesen Sensor.