INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 89)

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XTC/3 Gebrauchsanleitung
Es gibt viele Gründe warum ein Quarz eine temporäre Frequenzerhöhung
aufweisen kann. Zum Beispiel, wenn ein Quarz das Ende der Lebensdauer
erreicht, ist er für Instabilität anfällig. Eine Frequenzerhöhung kann auch durch
Abklingen von mechanischen Belastungen innerhalb der Schicht, oder
Beschichtung die sich vom Quarz ablöst, verursacht werden. Temperaturschocks
können auch Frequenzerhöhung verursachen. Ein Quarz, der Temperaturen über
100 °C ausgesetzt wird, ist mehr empfindlich auf kleine Temperaturänderungen die
dann Frequenzänderungen auslösen. Wenn das beheizen in einer
Vakuumkammer angewendet wird und/oder wenn die Blende geöffnet wird (womit
der Quarz der heißen Quelle ausgesetzt wird), erhöht sich die Quarzfrequenz bis
das thermische Gleichgewicht erreicht ist. Wenn der aktive Prozess endet
und/oder die Blende schließt, verringert sich die Quarzfrequenz wegen der
Abkühlung. Da kleine Frequenzerhöhungen normalerweise aufkommen und
unvermeidbar sind, können Werte von 1 bis 24 für die "Single" und "Total" Stability
Parameter nicht eingegeben werden um falsche Auslösung von Quarzausfall zu
verhindern.
HINWEIS: Stability ist außer Kraft in Etch Mode - Ätzmodus.
SINGLE - Einfach . . . . . 0 Hz und 25 bis 9999 Hz (Werte 1 bis 24 sind nicht
erlaubt)
Bestimmt die maximal erlaubte Frequenzerhöhung von einer Messung zur
nächsten. Der Standardwert ist 0 Hz womit die Funktion außer Kraft ist.
TOTAL . . . . . . . . . . . . . . 0 Hz und 25 bis 9999 Hz (Werte 1 bis 24 sind nicht
erlaubt)
Bestimmt die maximal erlaubte Frequenzerhöhung während der aktiven
Beschichtung. Der Standardwert ist 0 Hz womit die Funktion außer Kraft ist.
HINWEIS: Nach einem Quarzausfall wegen Überschreitung der erlaubten Hz
Grenze kann der Crystal Fail Status durch Quarzersatz oder Betätigen
der TOGL Taste in der Sensors Anzeige mit dem Cursor auf "Clear S &
Q" gelöscht werden.
4.2.4.3 Quality-Qualität
Quality bestimmt die erlaubte Ratenabweichung in Prozent der gemessenen Rate
relativ zu der gewünschten Rate und wieviele Messungen außerhalb dem Bereich
vorkommen dürfen bevor ein Quarzausfall ausgelöst wird.
PERCENT-Prozent . . . . 0 bis 99% and > 0.5 Å/s
Bestimmt die Abweichung die überschritten werden muss um den Zähler zu
erhöhen. Der Standardwert ist 0% womit die Funktion außer Kraft ist.