INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 83)

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XTC/3 Gebrauchsanleitung
Abbildung 4-2 Pre/Post Film Parameter Anzeige
Von der Film Parameter Anzeige können Pre/Post, Deposit, Sensor,
Source-Quelle und Option Wahlflächen gewählt werden wenn der Cursor auf den
entsprechenden Titel bewegt wird. Die Pfeil Links und Rechts Tasten springen
zwischen den Wahlflächen (links) und den Parametern (rechts). Die Pfeil Auf und
Ab Tasten gehen von Wahlfläche zu Wahlfläche in der linken Tafel oder von
Parameter zu Parameter in der rechten Tafel. Der Wert der meisten FilmParameter
kann mit dem Nummerntastenfeld und der Enter Taste geändert werden. In einigen
Fällen, z.B. Transfer Sensor, wird die TOGL Taste verwendet um aus einer Liste zu
wählen.
4.2.1 Film Definition
Ein Film ist durch die Parameter definiert die notwendig sind ihn zu betreiben. Sie
umfassen Sensor und Quellennummern, Quellenvorwärmung und Abkühlung,
Aufdampfrate und Enddicke, Material Parameter, Regelschleife Parameter, usw.
Das XTC/3M kann 32 Filme definieren die benennt werden können. Alle Filme
fangen mit Standardwerten für die Parameter an. Diese können in beliebiger
Reihenfolge geändert werden. Ein Film wird ein Layer-Schicht in einem Prozess
wenn seine Filmnummer im Prozess gewählt wird.
Das XTC/3S hat weder Prozesse noch Schichten. Neun Filme, 1 bis 9, können
definiert werden aber nicht benannt, und ein General Parameter zeigt an welcher
Film bearbeitet wird.
Wenn die Film Anzeige gewählt wird, zeigt der Bildschirm denjenigen Film der
zuletzt angezeigt wurde. Ein anderer Film kann angezeigt werden wenn der Cursor
zur Filmnummer bewegt wird und die Filmnummer eingegeben wird.
Wenn ein Passwort von der Gerätefrontplatte programmiert wurde, erscheint die "L
Lock" Meldung in der oben rechts Ecke. Wenn ein Passwort über die
Kommunikationsschnittstelle programmiert wurde, erscheint die "R Lock"
FILM NAME
| Film Number 1
|
Pre/Post |Rise Time 1 00:00 mm:ss
|Soak Power 1 0.0 %
Deposit |Soak Time 1 00:00 mm:ss
|
Sensor |Rise Time 2 00:00 mm:ss
|Soak Power 2 0.0 %
Source |Soak Time 2 00.00 mm:ss
|
Option |Idle Ramp Time 00:00 mm:ss
|Idle Power 0.0 %
40.0
A/S
183.6
KA
0.0
%