INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 189)

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XTC/3 Gebrauchsanleitung
11 Das sechs-Zoll BNC Kabel an die Durchführung schließen und es vom Quarz
Interface Unit (oder Oszillator) lösen.
12 Elektrische Kontinuität vom Mittelkontakt des Microdot Stecker an der
Durchführung zum freien Ende des sechs-Zoll BNC Kabel prüfen.
13 Elektrische Isolation zwischen dem Mittelkontakt zur Masse (Durchführung
Gehäuse) prüfen.
Wenn das Durchführung/sechs-Zoll BNC Kabel System defekt ist, kann die
Ursache defekte Kontakte an der Durchführung zu BNC Kabelverbindung sein. Die
Durchführung entweder reparieren oder austauschen, das BNC Kabel wieder an
das XIU (Oszillator) schließen und das In-Vakuum Kabel an den Sensorkopf und
diese Prozedur von Schritt 2 an wiederholen.
6.5.1.3 Sensorkopf oder Monitor Quarz
Diagnostik Prozedur
1 Den Quarzhalter vom Sensorkopf abnehmen.
2 Siehe auf Seite 6-26 . Den Quarz Sensor Emulator in den Sensorkopf an Stelle
C einsetzen.
 Wenn die XTAL Fail Nachricht nach ungefähr 5 s gelöscht wird. funktioniert
der Sensorkopf korrekt. Den Quarzhalter wieder in den Sensorkopf setzen
und weitergehen nach
Abschnitt 6.5.1.4 auf Seite 6-30 .
 Wenn die XTAL Fail Nachricht besteht, mit Schritt 3 weitergehen.
3 Das In-Vakuum Kabel vom Sensorkopf und der Durchführung lösen. Den
Quarz Sensor Emulator vom Sensorkopf abnehmen.
4 Mit einem Ohm-Meter, die elektrischen Anschlüsse am Sensorkopf prüfen.
 Elektrische Kontinuität vom Mittelkontakt des Microdot Stecker am
Sensorkopf zu den Federkontaktfinger im Sensorkopf prüfen.
 Elektrische Isolation muss zwischen dem Mittelkontakt des Microdot
Stecker und dem Sensorkopfgehäuse bestehen.
Wenn der Sensorkopf defekt ist, mit INFICON Service Kontakt aufnehmen um den
Sensorkopf zu reparieren. Siehe
Abschnitt 1.3 auf Seite 1-5 .