INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 78)

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XTC/3 Gebrauchsanleitung
3.6.12 Lock Code/Passwort
Wenn ein Lock Code-Passwort über die Process Wahlfläche der General
Parameter Anzeige programmiert wurde, erscheint die "L Lock" Meldung. Wenn
ein Passwort über die Kommunikationsschnittstelle programmiert wurde, erscheint
anstatt dessen die "R Lock" Meldung. Parameter sind sichtbar aber können nicht
von der Frontplatte geändert werden bis der Lock Code-Passwort auf der Menu
Anzeige eingegeben wird mit dem Cursor auf der "LOCK Code" Wahlfläche.
Ein verlorener Lock Code-Passwort kann gelöscht werden in dem die "CLEAR"
Taste sofort nach Einschalten gedrückt und kurz gehalten wird. Vom Benutzer
eingegebene Parameter bleiben gespeichert.
HINWEIS: Wenn kein Lock Code-Passwort besteht, werden alle Parameter
gelöscht.
3.6.13 Parameter Löschen
Wenn kein Lock Code-Passwort besteht, werden alle vom Nutzer programmierten
Parameter gelöscht, außer die für die IP Adresse. Alle Parameter werden auf ihre
Standardwerte zurückgesetzt wenn die "Clear" Taste beim Einschalten betätigt
wird. Wenn ein Lock Code-Passwort programmiert war, muss der Vorgang
wiederholt werden.
3.6.14 Datalog Datenaufzeichnung
Wenn der Protokoll Parameter, siehe Kommunikation Parameter auf Seite 4-24 auf
"Datalog" gesetzt ist, funktioniert der RS-232 Ausgang nur als "send only" -Nur
Senden Ausgang (d.h. es nimmt keine Kommunikation von einem Computer an).
Wenn eine Schicht Deposit verlässt, (entweder am Ende der Aufdampfung oder
nach einem Stop), wird ein Datensatz ausgesandt. Ein Datensatz besteht aus einer
Serie von ASCII Zeichenketten, getrennt durch "carriage return" und "line feed", in
der Reihenfolge unten:
Layer x Schicht x
Film x (x = Filmnummer oder der Namen wenn einer programmiert wurde (nur
XTC/3M)
Rate = xxx.x Å/s (0.0 - 999.9)
Thickness x Schichtdicke Å (x = 0 - 999999 Angstroms)
Deposit Time Aufdampfzeit = xx:xx Min:s
Average Power Durchschnittliche Leistung = xx.x%
S Value Wert = 0 bis 9999
Q Value Wert = 0 bis 99
Begin Frequency Anfangsfrequenz = xxxxxxxx.x Hz