INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual Benutzerhandbuch
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A
XTC/3 Gebrauchsanleitung
3. Der Quarz schwingt nicht
oder seine Schwingungen
setzen immer wieder aus
(sowohl im Vakuum, als
auch an der Luft).
a. Intermittierender oder
schlechter elektrischer
Kontakt (Kontakte oxidiert).
a. Mit einem Ohmmeter oder
einem Digital-Voltmeter die
elektrischen Kontakte auf
Durchgang prüfen,
Kontakte reinigen.
b. Blattfedern haben ihre
Spannung verloren
(Keramikhalter, Isolator in
der Mitte, Sensorgehäuse).
b. Blattfedern am
Keramikhalter auf ca. 45 Grad,
Blattfedern im Sensorgehäuse,
auf 60 Grad zurechtbiegen.
c. HF Störungen von der
Stromversorgung
für die Sputterquelle.
c. Erdverbindung prüfen.
Geflochtene Erdleitung für HF
Erdung verwenden, Verlegung
der Geräte und Oszillator-
leitungen aus der Nähe von HF
Stromversorgungsleitungen
entfernen. Gerät an eine
andere Netzphase
anschließen.
d. Leitungen/Oszillator nicht
verbunden oder mit dem
falschen Sensoreingang
verbunden.
d. Verbindungen überprüfen,
und prüfen, ob die Eingänge
entsprechend der
Programmierung
angeschlossen sind.
4. Der Quarz schwingt im
Vakuum, jedoch hört die
Oszillation auf, sobald der
Quarz der Luft ausgesetzt
wird.
a. Der Quarz ist am Ende
seiner Lebensdauer
angekommen; die Luft führt
zu einer Oxidation der
Schicht und somit zu einer
Erhöhung der
mechanischen
Belastung.
a. Quarz ersetzen
b. Auf der Quarzoberfläche
schlägt sich zuviel
Feuchtigkeit nieder.
b. Vor dem Belüften das
Kühlwasser abstellen; solange
die Kammer offen ist, warmes
Wasser durch den Sensor
fließen lassen.
Tabelle 6-2 Sensor Fehlersuche und Diagnosis (fortgesetzt)
SYMPTOM
URSACHE
BEHEBUNG