INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 180)

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XTC/3 Gebrauchsanleitung
6.4 Austauschen des Quarzes
Die Vorgehensweise zum Austausch der Quarze ist für alle Front Load Sensoren
grundsätzlich dieselbe, mit Ausnahme der CrystalSix und Crystal12 Sensor.
Austausch der Quarze bei Cool Drawer Sensoren und bei RSH Sensoren ist in
Anleitungen auf der 074-5000-G1 CD beschrieben.
ACHTUNG
Zur Handhabung der Quarze immer saubere
Laborhandschuhe aus Nylonmaterial und
Plastikpinzetten benutzen (um eine Verschmutzung zu
vermeiden, was die Anhaftungsfähigkeit der Schichten
auf der Elektrode beeinträchtigen könnte). Den
Keramikhalter nach dem Einsetzen nicht drehen (dieses
würde die Quarzelektrode verkratzen und zu einer
schlechten Kontaktgabe führen). Bei der Handhabung
des keramischen Halters auf diesen keine übermäßig
starken Kräfte ausüben, da dieser sonst brechen kann.
HINWEIS: Bestimmte Materialien, insbesondere dielektrische Materialien, haften
möglicherweise nicht besonders stark auf der Quarzoberfläche und
können die Ursache für eine schwankende Anzeige sein..
HINWEIS: Dicke Schichten einiger Materialien wie SiO, Si und Ni trennen sich
normalerweise von dem Quarz, sobald dieser Luft ausgesetzt wird, weil
Gasabsorption die mechanische Belastung ändert.