INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual Benutzerhandbuch
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A
XTC/3 Gebrauchsanleitung
27 (Select Prozess 1-99, 7 Bits, Bit 4)
28 (Select Prozess 1-99, 7 Bits, Bit 5)
29 (Select Prozess 1-99, 7 Bits, Bit 6)
30 (Select Prozess 1-99, 7 Bits, Bit 7)
31 Switch Crystal-Quarzwechsel
32 Non-Deposit Hold-Halt
33 Filmzeit Nullen
34 Start Verhindern
35 Soak 1 Hold-Halt
* Abfragen eines Eingangs der einem sekundären Bit eines der Select Prozesse
entspricht, gibt die entsprechende Nummer. Für einzelne Updates kann nur das
primäre Bit gesetzt werden. Die entsprechenden sekundären Bits werden
automatisch gesetzt. Für einen Block Update (UI 255 oder UB x, siehe unten),
wenn ein Select Prozess gesetzt wird, muss das primäre Bit gesetzt werden. Jedes
zusätzliche Bit entsprechend dem Select Prozess muss die richtige entsprechende
Nummer, oder 0 enthalten.
5.2.2.3.6 Standard Query-Abfrage Ausgangdefinition (nur XTC/3M)
Befehl:
QO <Ausgangnummer>
Ausgangnummer = <Byte> 1-20, 255 (255=alle Ausgänge)
Antwort:
Für Ausgangnummer 1 – 20:
<Ausgangdefinition>
Für Ausgangnummer 255:
<Ausgang1 Definition><Ausgang2 Definition>…<Ausgang20 Definition>
Ausgangdefinition = <Byte> wie unten kodiert
0 Blank (Ausgang nicht benutzt)
1 Quellenblende 1
2 Quellenblende 2
3 Sensorblende 1
4 Sensorblende 2
5 Stop
6 Prozess Ende