INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual Benutzerhandbuch
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P5
A
XTC/3 Gebrauchsanleitung
19
(0x13)
Data Log
Gibt die folgenden Daten
Schicht # (Int)
Film # (Int)
Rate (Float) Å/s - Ein-Sekunden-Durchschnitt-
Dicke (Float) kÅ
Deposit Zeit (Int) s
Durchschnitt Leistung (Float) %
S Wert (Int)
Q Wert (Byte)
Begin-Frequenz (Float) HZ
End-Frequenz (Float) HZ
Quarzbenutzung (Byte) %
Schicht Ende Typ (Byte) -Normal Ende (0), Zeit-
Leistung Ende (1) oder Stop (2) -
Stop Ursache: (Byte)
0 = Kein Stop
1 = Tastatur
5 = Quarzausfall
6 = Max Leistung
7 = Hand Bedienung
8 = Kommunikation
9 = Digital Eingang
10 = Netzstromverlust
11 = Ratenabweichungfehler
12 = Quarzwechselfehler
20 (0x14)
Aktiver Prozess
(Byte)
21 (0x15)
Einschaltfehler
Flagge
(Byte) Bitwert zeigt den Fehler an:
0 = Parameter beim einschalten verloren
1 = Prozess Variablen beim einschalten verloren
2 = Netzstrom Ein-Aus Zyklus
30
(0x1e)
Quarz Status
(2 Bytes) Jedes Bit repräsentiert einen Quarz eines
Multikopf Sensor. 1 = Guter Quarz, 0 =
Quarzausfall. LSB ist Quarz1. Alle Bits > Anzahl
von Quarzen auf Sensor sind 0.
31
(0x1f)
Rolling Average
Gleitender
Durchschnitt
(Float) Å/s Gibt einen 6,25-s gleitenden
Durchschnitt der Messrate. Jede 0.25 s aktualisiert.
32 (0x20)
Aktiver Quarz
(Byte) Quarz des aktuellen Sensor in Benutzung.
Tabelle 5-4 "Standard" Status Befehle (Fortsetzung)
"Standard"
Befehl ID
Beschreibung
Antwort:
Beschreibung (Data Format)Einheit-Detail