INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual Benutzerhandbuch
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XTC/3 Gebrauchsanleitung
Idle Rampe-Abkühlungsrampe
Durch die nächsten beiden Parameter wird die Änderung beim Eintritt in den
Leerlaufstatus festgelegt, in dem die Leistungsabgabe der Aufdampfquelle nach
dem Aufdampfen verbleibt. Die Steuerspannung wird vom Leistungspegel am
Ende des Aufdampfvorgangs auf den Leerlaufleistungspegel geändert. Die
Steuerspannung verbleibt auf dem Leerlaufleistungspegel, bis das Gerät in den
STOP Zustand eintritt oder bis mit der nächsten Schicht unter Verwendung der
spezifizierten Aufdampfquelle gestartet wird oder wenn der Tiegel der
Aufdampfquelle rotiert.
HINWEIS: Wenn die nächste Schicht im Prozess mit einer Quelle betrieben wird,
bei der die Idle Leistung in einer vorhergehenden Schicht auf größer als
Null gesetzt wurde, um das Material für eine nachfolgende Schicht
warm zu halten, werden Rise 1 and Soak 1 Phasen übersprungen und
die Schicht fängt mit Rise 2 an.
IDLE RAMP TIME-Leerlaufzeit. . . . 00:00 bis 99:59 min:s
Dieser Parameter definiert die Zeit, während der die Leistung für die
Aufdampfquelle nach der Deposit Phase zum Idle Power Pegel verringert wird. Der
Standardwert ist 00:00.
IDLE POWER-Leerlaufleistung . . . 0.0 bis 100%
Das ist einer von zwei Parametern, die den Eintritt in den
Idle-Leerlaufleistungsstatus beeinflussen. Dieses ist der Leistungswert, bei dem
die Aufdampfquelle verbleibt, nachdem die Aufdampfphase abgelaufen ist. Wenn
dieses Material für eine folgende Schicht verwendet wird, und es wünschenswert
ist die Taktzeit zu reduzieren, sollte dieser Wert auf den gleichen Wert wie für
SOAK POWER 1 eingestellt werden. Rise 1 und Soak 1 Phasen werden
übersprungen wenn Idle Power nicht Null ist. Der Standardwert ist 0%.