INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual Benutzerhandbuch
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P5
A
XTC/3 Gebrauchsanleitung
Tabelle 5-3 "Standard" General Parameter
"Stan-
dard"
Befehl ID
Name
Einheiten /
Erlaubte Werte /
Bemerkungen
Daten-
typ/
Format
Unter
e
Grenz
e
Obere
Grenze
0
(0x00)
1
Prozess zu
betreiben (nur
XTC/3M)
Nur in Ready oder
Idle in letzter
Schicht erlaubt
Int
1
99
1
Film zu betreiben
(nur XTC/3S)
1
9
1
(0x01)
Start Schicht ohne
Reservequarz
1 = Yes, 0 = No
Int
0
1
2 (0x02)
Stop auf Alarme
1 = Yes, 0 = No
Int
0
1
3 (0x03)
Stop auf Max
Leistung
1 = Yes, 0 = No
Int
0
1
4
(0x04)
1
Dep/Etch
Dep/Ätzen Modus
0 = Deposit
1 = Ätzen
Int
0
1
5 (0x05)
1
Test
1 = Yes, 0 = No
Int
0
1
6
(0x06)
1
Sensor 1 Typ
0 = Single
1 = CrystalTwo
2 = CrystalSix
3 = Crystal12
4 = Rotary
5 = Dual Head
Int
0
5
7
(0x07)
1
Sensor 2 Typ
0 = Single
1 = CrystalTwo
2 = CrystalSix
3 = Crystal12
4 = Rotary
(Auf Query nur:
5 = Dual Head)
Int
0
4
(5 für
Query-
Abfrage
Befehl)
8
(0x08)
1
Quelle
Regelspannung
0 = 0 bis +10
1 = 0 bis -10
2 = 0 bis +5
3 = 0 bis -5
4 = 0 bis +2.5
5 = 0 bis -2.5
Int
0
5