INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual Benutzerhandbuch
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XTC/3 Gebrauchsanleitung
AUTOSTART NEXT LAYER .....Nächste Schicht automatisch starten....Yes-Ja /
No-Nein (nur XTC/3M)
Mit der TOGL Taste durch die Liste gehen. Standardwert ist No. "Yes" startet die
nächste Schicht im Prozess automatisch wenn der vorhergehende Layer den Idle
Status erreicht, außer diese Schicht ist die letzte im Prozess. Diese Funktion ist
nicht im XTC/3S.
START WITHOUT BACKUP ... Start ohne Reservequarz......Yes-Ja / No-Nein
Mit der TOGL Taste durch die Liste gehen. Diese Option trifft nur zu wenn ein
Multi-Position Sensor verwendet wird. In dem Standard Modus "No" kann ein Layer
nicht starten wenn nicht wenigstens ein bekannter guter Reservequarz vorhanden
ist. Wenn auf "Yes", kann ein Layer ohne Reservequarz gestartet werden.
STOP ON ALARMS. . . . . . . Stop auf Alarrme.......................Yes-Ja / No-Nein
Mit der TOGL Taste durch die Liste gehen. Standardwert ist No. Alarm Zustände
sind in
Abschnitt 3.5.1 auf Seite 3-23
definiert.
STOP ON MAX POWER . . . Stop bei Max. Leistung................Yes-Ja / No-Nein
Mit der TOGL Taste durch die Liste gehen. Standardwert ist No. Wenn auf Yes
gesetzt, geht das Gerät in Stop wenn die Leistung am maximum Wert für
ununterbrochen 5 s war.
DEP/ETCH MODE . . . . . . . . Aufdampfen/Abätzen....................Deposit / Etch
Mit der TOGL Taste durch die Liste gehen. Standard Modus ist "Deposit". Im "Etch"
Modus kann das Gerät konfiguriert werden entweder die Dicke oder die Masse, die
von der aktiven Quarzoberfläche abgetragen wurde, anzuzeigen.
Selbstverständlich muss das Material gleichmäßig von der aktiven Quarzfläche
abgetragen werden sonst können korrekte Messungen nicht erfolgen. Diese
Ungenauigkeit beruht auf der radial unterschiedlichen Empfindlichkeit über die
Quarzoberfläche.
Das Gerät wird wie normal verwendet, die angezeigte Dicke wird mit der ZERO
Taste genullt. Der FINAL THICKNESS Parameter kann programmiert werden um
den Prozess zu beenden.
TEST . . . . . . . . . . . . . . . Yes-Ja / No-Nein
Mit der TOGL Taste durch die Liste gehen. Standardwert ist No. Das Gerät enthält
ein Test Modus, durch die Software kontrolliert, die normalen Betrieb simuliert. Die
Absicht des Test Modus ist den grundsätzlichen Betrieb zu bestätigen und um dem
Benutzer typischen Betrieb darzustellen.
Die Rate die im Test Modus angezeigt wird ist wie folgend berechnet:
[2]
AngezeigteRate
40
DENSITY (gm/cc)
----------------------------------------------- TOOLING (%)
100%
---------------------------------------
·
Å/sec