INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 42)

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XTC/3 Gebrauchsanleitung
2.3.3.2.2 Aux I/O (Input/Eingang-Output/Ausgang) Stecker
2.3.3.2.3 Eingänge
Die Eingänge werden aktiviert, indem der Eingang auf Masse (<0,8 V) gelegt wird.
Dies kann über einen Kontakt nach Masse (GND) erfolgen oder über TTL/CMOS
Logik, die einen Strom von bis zu 2 mA aufnehmen kann (1 TTL Last niedriger
Leistung). Die Eingänge werden alle 250 ms abgefragt; Signale müssen während
der Abtastung präsent sein.
Tabelle 2-4 Aux I/O Stecker
Beschreibung Pin # XTC/3S Funktion
Relais 7 1, 2 Dicke Sollwert
Relais 8 3, 4 Soak 2
Relais 9 5, 6 Quarzfehler
Relais 10 7, 8 Alarm
Relais 11 9, 10 Quelle 1/Quelle 2
Relais 12 11, 12 Beschichtungsende (Enddicke)
TTL Ausgang 1
13 Cruc SRC 1 Bin
18 Crucible Select-Tiegelwahl 1
(falls aktive Schicht 0 oder 1 ist)
TTL Ausgang 2
14 Cruc SRC 1 Bin
19 Crucible Select 2
Tiegelwahl
TTL Ausgang 3
15 Cruc SRC 1 Bin
20 Crucible Select 3
Tiegelwahl
TTL Ausgang 4
16 Cruc SRC 1 Bin
21 Crucible Select 4
Tiegelwahl
TTL Ausgang 5
17 Cruc SRC 1 Bin
22 Crucible Select 5
Tiegelwahl
TTL Ausgang 6
18 Cruc SRC 1 Bin
23 Crucible Select 6
Tiegelwahl
TTL Ausgang 7
19 Cruc SRC 1 Bin
24 Crucible Select 7
Tiegelwahl
TTL Ausgang 8
20 Cruc SRC 1 Bin
25 Crucible Select 8
Tiegelwahl
Eingang 9 14 Crucible Valid - Tiegel In Position
Erde 13,15,16,17 Rückleiter